UNTERSUCHUNGEN ZUM EINFLUSS DER PLASMAPARAMETER AUF DIE LOESLICHKEIT VON GLIMMPOLYMERSCHICHTEN AUS HEXAMETHYLDISILOXAN (HMDS)
- Other title
- ETUDE DE L'INFLUENCE DES PARAMETRES DU PLASMA SUR LA SOLUBILITE DE COUCHES POLYMERES DE HAXAMETHYLDISILOXANE (HMDS) DANS UNE DECHARGE LUMINESCENTE (fr)
- Author
- SCHMIDT M; MAASS M; MOELLER W
AKAD. WISS. DDR, ZENTRALINST. ELEKTRONENPHYS.,GREIFSWALD,DDR - Source
- BEITR. PLASMAPHYS.; DDR; DA. 1979; VOL. 19; NO 3; PP. 189-198; BIBL. 14 REF.
- Document type
- Article
- Language
- German
- Keyword (fr)
- DECHARGE ELECTRIQUE DECHARGE LUMINESCENTE ARGON POLYMERE SOLUBILITE COUCHE MINCE ETUDE EXPERIMENTALE CHIMIE APPLICATION PLASMA PHYSIQUE DES PLASMAS
- Keyword (en)
- ELECTRIC DISCHARGE GLOW DISCHARGE ARGON POLYMER SOLUBILITY THIN FILM EXPERIMENTAL STUDY CHEMISTRY PLASMA APPLICATION PLASMA PHYSICS
- Keyword (es)
- FISICA DE LAS PLASMAS
- Classification
- Discipline
- Atomic and molecular physics
- Origin
- Inist-CNRS
- Database
- PASCAL
- INIST identifier
- PASCAL8030460675
Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS
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