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Modeling and Characterization of CMOS-Fabricated Capacitive Micromachined Ultrasound TransducersDOODY, Christopher B; XIAOYANG CHENG; RICH, Collin A et al.Journal of microelectromechanical systems. 2011, Vol 20, Num 1, pp 104-118, issn 1057-7157, 15 p.Article
