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        • 001B80A15 Methods of deposition of films and coatings; film growth and epitaxy.
          • 001B80A15G Chemical vapor deposition (including plasma-enhanced CVD, MOCVD, etc.).

Título

• en : Chemical vapor deposition (including plasma-enhanced CVD, MOCVD, etc.).
• fr : Dépôt chimique en phase vapeur (incluant le CVD activé par plasma, MOCVD, etc.).

Notación SKOS

001B80A15G

En el plan

Pascal Classification Scheme