Etude par spectroscopie d'emission optique de décharges radiofréquence et micro-onde lors du dépôt chimique en phase vapeur (PACVD) dans le système Si-C-H-Ar
- Other title
- Optical emission spectroscopy of RF and microwave plasmas used for chemical vapor deposition in the Si-C-H-Ar system (en)
- Author
- ANDRIEUX, M1 ; BADIE, J. M2 ; DUCARROIR, M1 ; THOMAS, L1
[1] C.N.R.S-I.M.P, Université, 52 avenue, de Villeneuve, 66860 Perpignan, France
[2] C.N.R.S-I.M.P, BP 5 Odeillo, 66125 Font-Romeu, France - Issue title
- Revêtements durs et ahérents par dépôt chimique = Hard and adherent coatings by chemical vapour deposition (en)
- Author (monograph)
- DUCARROIR, M (Editor)1
[1] CNRS-IMP, France - Source
Annales de chimie (Paris. 1914). 1998, Vol 23, Num 5-6, pp 743-752 ; ref : 22 ref
- CODEN
- ANCPAC
- ISSN
- 0151-9107
- Scientific domain
- Chemistry; Metallurgy, welding
- Publisher
- Lavoisier, Cachan
- Publication country
- France
- Document type
- Article
- Language
- French
- Keyword (fr)
- Argon Dépôt chimique phase vapeur modifié Etude expérimentale Hydrogène Hyperfréquence Plasma Silane organique Spectrométrie optique Spectrométrie émission Silane(triméthyl)
- Keyword (en)
- Argon Modified chemical vapor deposition Experimental study Hydrogen Microwave Plasma Organic silane Optical spectrometry Emission spectrometry
- Keyword (es)
- Argón Depósito químico fase vapor modificado Estudio experimental Hidrógeno Hiperfrecuencia Plasma Silano orgánico Espectrometría óptica Espectrometría emisión
- Classification
- Pascal
- 001 Exact sciences and technology / 001C Chemistry / 001C01 General and physical chemistry / 001C01I Surface physical chemistry / 001C01I04 Solid-gas interface
- Discipline
- General chemistry and physical chemistry
- Origin
- Inist-CNRS
- Database
- PASCAL
- INIST identifier
- 1720464
Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS
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DOI
10.1016/S0151-9107(99)80021-X 
https://dx.doi.org/10.1016/S0151-9107(99)80021-X
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