Modelisation, Etude, Réalisation d'un interféromètre temps réel destiné à la mesure Bi-dimensionnelle des puces électroniques submicroniques pendant un procédé de gravure plasma
- Other title
- Study, modeling and realisation of a real-time interferometer for two-dimensional measurement of submicron electronic circuits during a plasma etch process (en)
- Author
- Augé, Bruno; Kleim, Roland (Advisor (for a thesis or dissertation))
Université de Metz, Metz, France (Degree-grantor) - Source
Modelisation, Etude, Réalisation d'un interféromètre temps réel destiné à la mesure Bi-dimensionnelle des puces électroniques submicroniques pendant un procédé de gravure plasma. 1997, 130 p., ref : 23 ref
- Thesis number
- 97 METZ 0054
- Document type
- Thesis (New Ph.D. thesis)
- Language
- French
- Keyword (fr)
- Acquisition Analyse bidimensionnelle Contrôle fabrication Epaisseur couche Essai Fabrication microélectronique Gravure plasma Image Imagerie In situ Interférométrie Multicouche Méthode mesure Positionnement Puce électronique Reconnaissance forme Temps réel Formalisme Abélès Interférométrie spectroscopique Recherche motif
- Keyword (en)
- Acquisition Two dimensional analysis Processing control Layer thickness Test Microelectronic fabrication Plasma etching Image Imagery In situ Interferometry Multiple layer Measurement method Positioning Chip Pattern recognition Real time
- Keyword (es)
- Adquisición Análisis bidimensional Control fabricación Espesor capa Ensayo Fabricación microeléctrica Grabado plasma Imagen Imaginería In situ Interferometría Capa múltiple Método medida Posicionamiento Pulga electrónica Reconocimiento patrón Tiempo real
- Classification
- Pascal
- 001 Exact sciences and technology / 001D Applied sciences / 001D03 Electronics / 001D03B Testing, measurement, noise and reliability
- Discipline
- Electronics
- Origin
- Inist-CNRS
- Database
- PASCAL
- INIST identifier
- 189874
Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS
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