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Nanolithographie par rayons X Application à la réalisation de nanostructures magnétiques

Other title
X-ray nanolithography Application to the fabrication of magnetic nanostructures (en)
Author
Simon, Guillaume; Launois, Huguette (Advisor (for a thesis or dissertation))
Université de Paris 06, Paris, France (Degree-grantor)
Source

Nanolithographie par rayons X Application à la réalisation de nanostructures magnétiques. 1998, 177 p., ref : 132 ref

Thesis number
98 PA06 6336
Document type
Thesis (New Ph.D. thesis)
Language
French
Keyword (fr)
Croissance cristalline Dépôt électrolytique Fabrication microélectronique Lithographie RX Nanostructure Rayonnement synchrotron Structure magnétique
Keyword (en)
Crystal growth Electrodeposition Microelectronic fabrication X ray lithography Nanostructure Synchrotron radiation Magnetic structure
Keyword (es)
Crecimiento cristalino Depósito electrolítico Fabricación microeléctrica Litografía RX Nanoestructura Radiación sincrotrón Estructura magnética
Classification
Pascal
001 Exact sciences and technology / 001D Applied sciences / 001D03 Electronics / 001D03F Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices / 001D03F17 Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology)

Discipline
Electronics
Origin
Inist-CNRS
Database
PASCAL
INIST identifier
198119

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