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ETUDE DES PHENOMENES DE TRANSFERT DANS UN PROCEDE DE MICRO-ELECTRODEPOSITION

Other title
STUDY OF TRANSPORT PHENOMENA IN A MICRO-ELECTRODEPOSITION PROCESS (en)
Author
Duchanoy, Christophe; Lapicque, François (Advisor (for a thesis or dissertation))
Institut national polytechnique de Lorraine, Vandoeuvre-lès-Nancy, France (Degree-grantor)
Source

ETUDE DES PHENOMENES DE TRANSFERT DANS UN PROCEDE DE MICRO-ELECTRODEPOSITION. 1999, 142 p., ref : 98 ref

Thesis number
99 INPL 098N
Document type
Thesis (New Ph.D. thesis)
Language
French
Keyword (fr)
Convection naturelle Dépôt électrolytique Fabrication microélectronique Miniaturisation Modélisation Mécanique fluide numérique Mécanique précision Procédé dépôt Transfert masse
Keyword (en)
Natural convection Electrodeposition Microelectronic fabrication Miniaturization Modeling Computational fluid dynamics Precision engineering Deposition process Mass transfer
Keyword (es)
Convección natural Depósito electrolítico Fabricación microeléctrica Miniaturización Modelización Mecánica fluido numérica Mecánica precisión Procedimiento revestimiento Transferencia masa
Classification
Pascal
001 Exact sciences and technology / 001D Applied sciences / 001D03 Electronics / 001D03F Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices / 001D03F17 Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology)

Pascal
001 Exact sciences and technology / 001D Applied sciences / 001D12 Mechanical engineering. Machine design / 001D12I Precision engineering, watch making

Discipline
Electronics Mechanical engineering. Mechanical construction. Handling
Origin
Inist-CNRS
Database
PASCAL
INIST identifier
198689

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