Vers des systèmes d'entraînement planaires dans le domaine de la lithographie : Nouvelles applications des moteurs linéaires
- Other title
- Towards Planar Drives for Lithography (en)
- Author
- COMPTER, John1
[1] Philips Applied Technologies, Technical University of Eindhoven, Eindhoven, Netherlands - Source
REE. Revue de l'électricité et de l'électronique. 2009, Num 2 ; 63, 80-84 [6 p.] ; ref : 6 ref
- ISSN
- 1265-6534
- Scientific domain
- Electronics; Electrical engineering; Computer science
- Publisher
- Société de l'Electricité, de l'Electronique et des Technologies de l'Information et de la Communication (SEE), Paris
- Publication country
- France
- Document type
- Article
- Language
- French
- Author keyword
- Cooling Iron-Free Permanent Magnet Array Levitation Multiphase Coil Planar Actuator Short Stroke Set
- Keyword (fr)
- Actionneur électromagnétique Aimant permanent Article synthèse Dispositif électromagnétique Industrie électronique Lithographie Lévitation Moteur linéaire Moteur électrique Mécanique précision Positionnement Refroidissement Technologie planaire
- Keyword (en)
- Electromagnetic actuators Permanent magnet Review Electromagnetic device Electronics industry Lithography Levitation Linear motor Electric motor Precision engineering Positioning Cooling Planar technology
- Keyword (es)
- Imán permanente Artículo síntesis Dispositivo electromagnético Industria electrónica Litografía Levitación Motor lineal Motor eléctrico Mecánica precisión Posicionamiento Enfriamiento Tecnología planar
- Classification
- Pascal
- 001 Exact sciences and technology / 001D Applied sciences / 001D02 Computer science; control theory; systems / 001D02D Control theory. Systems / 001D02D11 Robotics
- Pascal
- 001 Exact sciences and technology / 001D Applied sciences / 001D05 Electrical engineering. Electrical power engineering / 001D05D Electrical machines / 001D05D05 Linear machines
- Pascal
- 001 Exact sciences and technology / 001D Applied sciences / 001D05 Electrical engineering. Electrical power engineering / 001D05D Electrical machines / 001D05D07 Miscellaneous
- Discipline
- Computer science : theoretical automation and systems Electrical engineering. Electroenergetics
- Origin
- Inist-CNRS
- Database
- PASCAL
- INIST identifier
- 21062264
Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS
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