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http://pascal-francis.inist.fr/vibad/index.php?action=getRecordDetail&idt=2980937

Plasma polymerized hexamethyldisiloxane : discharge and film studies

Author
DURRANT, S. F1 ; MOTA, R. P; BICA DE MORAES, M. A1
[1] Univ. Estadual de Campinas, inst. física Gleb Wataghin, lab. processos plasma, 13083-970 Campinas, Brazil
Source

Vacuum. 1996, Vol 47, Num 2, pp 187-192 ; ref : 42 ref

CODEN
VACUAV
ISSN
0042-207X
Scientific domain
Metallurgy, welding; Physics
Publisher
Elsevier, Oxford
Publication country
United Kingdom
Document type
Article
Language
English
Keyword (fr)
Argon Composition chimique Dépôt métal Dépôt plasma Etude expérimentale Film complexe Morphologie Or Polymérisation décharge électrique Préparation Pulvérisation cathodique Siloxane polymère Structure moléculaire Vitesse dépôt Disiloxane(hexaméthyl) polymère Métal
Keyword (en)
Argon Chemical composition Metal deposition Plasma deposition Experimental study Composite film Morphology Gold Glow discharge polymerization Preparation Cathodic sputtering Siloxane polymer Molecular structure Deposition rate Metal
Keyword (es)
Argón Composición química Deposición metal Depósito plasma Estudio experimental Película compleja Morfología Oro Polimerización descarga eléctrica Preparación Pulverización catódica Siloxano polímero Estructura molecular Velocidad deposición Metal
Classification
Pascal
001 Exact sciences and technology / 001D Applied sciences / 001D09 Physicochemistry of polymers / 001D09B Polymers and radiations / 001D09B01 Polymerization

Discipline
Physical chemistry of polymers
Origin
Inist-CNRS
Database
PASCAL
INIST identifier
2980937

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