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Theoretical comparison of the stability characteristics of capped and uncapped GexSi1-x strained epilayers

Autor
JAIN, S. C1 ; GOSLING, T. J1 ; WILLIS, J. R; BULLOUGH, R; BALK, P1
[1] Dimes-T.U. Delft, 2600 Delft, Netherlands
Fuente

Solid-state electronics. 1992, Vol 35, Num 8, pp 1073-1079 ; ref : 19 ref

ISSN
0038-1101
Campo Científico
Electronics
Editor
Elsevier Science, Oxford
País de la publicación
United Kingdom
Tipo de documento
Article
Idioma
English
Palabra clave (fr)
Accommodation réseau Capping Composé minéral Couche mince Densité dislocation Dislocation interfaciale Epaisseur Etude théorique Germanium Siliciure Relaxation structurale Semiconducteur Stabilité structurale Vecteur Burgers Couche contraint Transistor MOSFET
Palabra clave (in)
Mismatch lattice Capping Inorganic compound Thin film Dislocation density Misfit dislocation Thickness Theoretical study Germanium Silicides Structure relaxation Semiconductor materials Structure stability Burgers vector
Palabra clave (es)
Acomodación red Capping Compuesto inorgánico Capa fina Densidad dislocación Dislocación interfacial Espesor Estudio teórico Germanio Siliciuro Relajación estructural Semiconductor(material) Estabilidad estructural Vector Burgers
Clasificación
Pascal
001 Exact sciences and technology / 001B Physics / 001B60 Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties / 001B60H Surfaces and interfaces; thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) / 001B60H35 Solid surfaces and solid-solid interfaces / 001B60H35J Surface and interface dynamics and vibrations

Pascal
001 Exact sciences and technology / 001B Physics / 001B60 Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties / 001B60H Surfaces and interfaces; thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) / 001B60H55 Thin film structure and morphology

Disciplina
Physics of condensed state : structure, mechanical and thermal properties
Procedencia
Inist-CNRS
Base de datos
PASCAL
Identificador INIST
4382300

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