Charakterisierung von PVD-Schichten am Beispiel Titannitrid
- Other title
- Characterization of TiN thin films (en)
- Author
- BIRKHÖLZER, J; HAUK, V
- Source
HTM. Härterei-technische Mitteilungen. 1993, Vol 48, Num 1, pp 25-33 ; ref : 41 ref
- CODEN
- HTMMD5
- ISSN
- 0341-101X
- Scientific domain
- Metallurgy, welding
- Publisher
- Hanser, München
- Publication country
- Germany
- Document type
- Article
- Language
- German
- Keyword (fr)
- Contrainte résiduelle Couche mince Dépôt physique phase vapeur Figure pôle Paramètre cristallin Revêtement non métallique Texture Titane Nitrure Traitement surface
- Keyword (en)
- Residual stress Thin film Physcial vapor deposition Pole figures Lattice parameters Non metal coating Texture Titanium Nitrides Surface treatment
- Keyword (es)
- Tensión residual Capa fina Deposición física fase vapor Figura polos Parámetro cristalino Revestimiento no metálico Textura Titanio Nitruro Tratamiento superficie
- Keyword (de)
- Eigenspannung Duennschicht Physikalisches Aufdampfen Polfigur Gitterparameter Nichtmetallischer Ueberzug Textur Oberflaechenbehandlung
- Classification
- Pascal
- 001 Exact sciences and technology / 001D Applied sciences / 001D11 Metals. Metallurgy / 001D11C Production techniques / 001D11C06 Surface treatment / 001D11C06E Nonmetallic coatings
- Discipline
- Metals. Metallurgy
- Origin
- Inist-CNRS
- Database
- PASCAL
- INIST identifier
- 4746658
Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS
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"O:13:\"PanistOpenUrl\":36:{s:10:\"\u0000*\u0000openUrl\";N;s:6:\"\u0000*\u0000idc\";N;s:6:\"\u0000*\u0000fmt\";s:7:\"journal\";s:6:\"\u0000*\u0000doi\";s:0:\"\";s:6:\"\u0000*\u0000pii\";s:0:\"\";s:7:\"\u0000*\u0000pmid\";s:0:\"\";s:9:\"\u0000*\u0000atitle\";s:59:\"Charakterisierung von PVD-Schichten am Beispiel Titannitrid\";s:9:\"\u0000*\u0000jtitle\";s:38:\"HTM. H\u00e4rterei-technische Mitteilungen\";s:9:\"\u0000*\u0000stitle\";s:25:\"HTM. H\u00e4rterei-tech. Mitt\";s:7:\"\u0000*\u0000date\";s:4:\"1993\";s:9:\"\u0000*\u0000volume\";s:2:\"48\";s:8:\"\u0000*\u0000issue\";s:1:\"1\";s:8:\"\u0000*\u0000spage\";s:2:\"25\";s:8:\"\u0000*\u0000epage\";s:2:\"33\";s:8:\"\u0000*\u0000pages\";s:0:\"\";s:7:\"\u0000*\u0000issn\";s:9:\"0341-101X\";s:8:\"\u0000*\u0000eissn\";s:0:\"\";s:9:\"\u0000*\u0000aulast\";s:11:\"BIRKH\u00d6LZER\";s:10:\"\u0000*\u0000aufirst\";s:1:\"J\";s:9:\"\u0000*\u0000auinit\";s:0:\"\";s:10:\"\u0000*\u0000auinitm\";s:0:\"\";s:5:\"\u0000*\u0000au\";a:1:{i:0;s:7:\"HAUK, V\";}s:9:\"\u0000*\u0000aucorp\";s:0:\"\";s:7:\"\u0000*\u0000isbn\";s:0:\"\";s:8:\"\u0000*\u0000coden\";s:6:\"HTMMD5\";s:8:\"\u0000*\u0000genre\";s:7:\"article\";s:7:\"\u0000*\u0000part\";s:0:\"\";s:9:\"\u0000*\u0000btitle\";s:0:\"\";s:8:\"\u0000*\u0000title\";s:59:\"Charakterisierung von PVD-Schichten am Beispiel Titannitrid\";s:8:\"\u0000*\u0000place\";s:8:\"M\u00fcnchen\";s:6:\"\u0000*\u0000pub\";s:6:\"Hanser\";s:10:\"\u0000*\u0000edition\";s:0:\"\";s:9:\"\u0000*\u0000tpages\";s:0:\"\";s:9:\"\u0000*\u0000series\";s:0:\"\";s:8:\"\u0000*\u0000proxy\";s:30:\"http:\/\/proxyout.inist.fr:8080\/\";s:12:\"\u0000*\u0000integrite\";b:1;}"
Panist access
"O:12:\"IstexOpenUrl\":35:{s:10:\"\u0000*\u0000openUrl\";N;s:6:\"\u0000*\u0000fmt\";s:7:\"journal\";s:6:\"\u0000*\u0000doi\";s:0:\"\";s:6:\"\u0000*\u0000pii\";s:0:\"\";s:7:\"\u0000*\u0000pmid\";s:0:\"\";s:9:\"\u0000*\u0000atitle\";s:59:\"Charakterisierung von PVD-Schichten am Beispiel Titannitrid\";s:9:\"\u0000*\u0000jtitle\";s:38:\"HTM. H\u00e4rterei-technische Mitteilungen\";s:9:\"\u0000*\u0000stitle\";s:25:\"HTM. H\u00e4rterei-tech. Mitt\";s:7:\"\u0000*\u0000date\";s:4:\"1993\";s:9:\"\u0000*\u0000volume\";s:2:\"48\";s:8:\"\u0000*\u0000issue\";s:1:\"1\";s:8:\"\u0000*\u0000spage\";s:2:\"25\";s:8:\"\u0000*\u0000epage\";s:2:\"33\";s:8:\"\u0000*\u0000pages\";s:0:\"\";s:7:\"\u0000*\u0000issn\";s:9:\"0341-101X\";s:8:\"\u0000*\u0000eissn\";s:0:\"\";s:9:\"\u0000*\u0000aulast\";s:11:\"BIRKH\u00d6LZER\";s:10:\"\u0000*\u0000aufirst\";s:1:\"J\";s:9:\"\u0000*\u0000auinit\";s:0:\"\";s:10:\"\u0000*\u0000auinitm\";s:0:\"\";s:5:\"\u0000*\u0000au\";a:1:{i:0;s:7:\"HAUK, V\";}s:9:\"\u0000*\u0000aucorp\";s:0:\"\";s:7:\"\u0000*\u0000isbn\";s:0:\"\";s:8:\"\u0000*\u0000coden\";s:6:\"HTMMD5\";s:8:\"\u0000*\u0000genre\";s:7:\"article\";s:7:\"\u0000*\u0000part\";s:0:\"\";s:9:\"\u0000*\u0000btitle\";s:0:\"\";s:8:\"\u0000*\u0000title\";s:59:\"Charakterisierung von PVD-Schichten am Beispiel Titannitrid\";s:8:\"\u0000*\u0000place\";s:8:\"M\u00fcnchen\";s:6:\"\u0000*\u0000pub\";s:6:\"Hanser\";s:10:\"\u0000*\u0000edition\";s:0:\"\";s:9:\"\u0000*\u0000tpages\";s:0:\"\";s:9:\"\u0000*\u0000series\";s:0:\"\";s:8:\"\u0000*\u0000proxy\";s:30:\"http:\/\/proxyout.inist.fr:8080\/\";s:12:\"\u0000*\u0000integrite\";b:1;}"
Istex access
"O:16:\"EuropePMCOpenUrl\":35:{s:10:\"\u0000*\u0000openUrl\";N;s:6:\"\u0000*\u0000fmt\";s:7:\"journal\";s:6:\"\u0000*\u0000doi\";s:0:\"\";s:6:\"\u0000*\u0000pii\";s:0:\"\";s:7:\"\u0000*\u0000pmid\";s:0:\"\";s:9:\"\u0000*\u0000atitle\";s:59:\"Charakterisierung von PVD-Schichten am Beispiel Titannitrid\";s:9:\"\u0000*\u0000jtitle\";s:38:\"HTM. H\u00e4rterei-technische Mitteilungen\";s:9:\"\u0000*\u0000stitle\";s:25:\"HTM. H\u00e4rterei-tech. Mitt\";s:7:\"\u0000*\u0000date\";s:4:\"1993\";s:9:\"\u0000*\u0000volume\";s:2:\"48\";s:8:\"\u0000*\u0000issue\";s:1:\"1\";s:8:\"\u0000*\u0000spage\";s:2:\"25\";s:8:\"\u0000*\u0000epage\";s:2:\"33\";s:8:\"\u0000*\u0000pages\";s:0:\"\";s:7:\"\u0000*\u0000issn\";s:9:\"0341-101X\";s:8:\"\u0000*\u0000eissn\";s:0:\"\";s:9:\"\u0000*\u0000aulast\";s:11:\"BIRKH\u00d6LZER\";s:10:\"\u0000*\u0000aufirst\";s:1:\"J\";s:9:\"\u0000*\u0000auinit\";s:0:\"\";s:10:\"\u0000*\u0000auinitm\";s:0:\"\";s:5:\"\u0000*\u0000au\";a:1:{i:0;s:7:\"HAUK, V\";}s:9:\"\u0000*\u0000aucorp\";s:0:\"\";s:7:\"\u0000*\u0000isbn\";s:0:\"\";s:8:\"\u0000*\u0000coden\";s:6:\"HTMMD5\";s:8:\"\u0000*\u0000genre\";s:7:\"article\";s:7:\"\u0000*\u0000part\";s:0:\"\";s:9:\"\u0000*\u0000btitle\";s:0:\"\";s:8:\"\u0000*\u0000title\";s:59:\"Charakterisierung von PVD-Schichten am Beispiel Titannitrid\";s:8:\"\u0000*\u0000place\";s:8:\"M\u00fcnchen\";s:6:\"\u0000*\u0000pub\";s:6:\"Hanser\";s:10:\"\u0000*\u0000edition\";s:0:\"\";s:9:\"\u0000*\u0000tpages\";s:0:\"\";s:9:\"\u0000*\u0000series\";s:0:\"\";s:8:\"\u0000*\u0000proxy\";s:30:\"http:\/\/proxyout.inist.fr:8080\/\";s:12:\"\u0000*\u0000integrite\";b:1;}"
Europe PubMed Central access
"O:11:\"BaseOpenUrl\":35:{s:10:\"\u0000*\u0000openUrl\";N;s:6:\"\u0000*\u0000fmt\";s:7:\"journal\";s:6:\"\u0000*\u0000doi\";s:0:\"\";s:6:\"\u0000*\u0000pii\";s:0:\"\";s:7:\"\u0000*\u0000pmid\";s:0:\"\";s:9:\"\u0000*\u0000atitle\";s:59:\"Charakterisierung von PVD-Schichten am Beispiel Titannitrid\";s:9:\"\u0000*\u0000jtitle\";s:38:\"HTM. H\u00e4rterei-technische Mitteilungen\";s:9:\"\u0000*\u0000stitle\";s:25:\"HTM. H\u00e4rterei-tech. Mitt\";s:7:\"\u0000*\u0000date\";s:4:\"1993\";s:9:\"\u0000*\u0000volume\";s:2:\"48\";s:8:\"\u0000*\u0000issue\";s:1:\"1\";s:8:\"\u0000*\u0000spage\";s:2:\"25\";s:8:\"\u0000*\u0000epage\";s:2:\"33\";s:8:\"\u0000*\u0000pages\";s:0:\"\";s:7:\"\u0000*\u0000issn\";s:9:\"0341-101X\";s:8:\"\u0000*\u0000eissn\";s:0:\"\";s:9:\"\u0000*\u0000aulast\";s:11:\"BIRKH\u00d6LZER\";s:10:\"\u0000*\u0000aufirst\";s:1:\"J\";s:9:\"\u0000*\u0000auinit\";s:0:\"\";s:10:\"\u0000*\u0000auinitm\";s:0:\"\";s:5:\"\u0000*\u0000au\";a:1:{i:0;s:7:\"HAUK, V\";}s:9:\"\u0000*\u0000aucorp\";s:0:\"\";s:7:\"\u0000*\u0000isbn\";s:0:\"\";s:8:\"\u0000*\u0000coden\";s:6:\"HTMMD5\";s:8:\"\u0000*\u0000genre\";s:7:\"article\";s:7:\"\u0000*\u0000part\";s:0:\"\";s:9:\"\u0000*\u0000btitle\";s:0:\"\";s:8:\"\u0000*\u0000title\";s:59:\"Charakterisierung von PVD-Schichten am Beispiel Titannitrid\";s:8:\"\u0000*\u0000place\";s:8:\"M\u00fcnchen\";s:6:\"\u0000*\u0000pub\";s:6:\"Hanser\";s:10:\"\u0000*\u0000edition\";s:0:\"\";s:9:\"\u0000*\u0000tpages\";s:0:\"\";s:9:\"\u0000*\u0000series\";s:0:\"\";s:8:\"\u0000*\u0000proxy\";s:30:\"http:\/\/proxyout.inist.fr:8080\/\";s:12:\"\u0000*\u0000integrite\";b:1;}"
Base Search access
"O:12:\"ArXivOpenUrl\":35:{s:10:\"\u0000*\u0000openUrl\";N;s:6:\"\u0000*\u0000fmt\";s:7:\"journal\";s:6:\"\u0000*\u0000doi\";s:0:\"\";s:6:\"\u0000*\u0000pii\";s:0:\"\";s:7:\"\u0000*\u0000pmid\";s:0:\"\";s:9:\"\u0000*\u0000atitle\";s:59:\"Charakterisierung von PVD-Schichten am Beispiel Titannitrid\";s:9:\"\u0000*\u0000jtitle\";s:38:\"HTM. H\u00e4rterei-technische Mitteilungen\";s:9:\"\u0000*\u0000stitle\";s:25:\"HTM. H\u00e4rterei-tech. Mitt\";s:7:\"\u0000*\u0000date\";s:4:\"1993\";s:9:\"\u0000*\u0000volume\";s:2:\"48\";s:8:\"\u0000*\u0000issue\";s:1:\"1\";s:8:\"\u0000*\u0000spage\";s:2:\"25\";s:8:\"\u0000*\u0000epage\";s:2:\"33\";s:8:\"\u0000*\u0000pages\";s:0:\"\";s:7:\"\u0000*\u0000issn\";s:9:\"0341-101X\";s:8:\"\u0000*\u0000eissn\";s:0:\"\";s:9:\"\u0000*\u0000aulast\";s:11:\"BIRKH\u00d6LZER\";s:10:\"\u0000*\u0000aufirst\";s:1:\"J\";s:9:\"\u0000*\u0000auinit\";s:0:\"\";s:10:\"\u0000*\u0000auinitm\";s:0:\"\";s:5:\"\u0000*\u0000au\";a:1:{i:0;s:7:\"HAUK, V\";}s:9:\"\u0000*\u0000aucorp\";s:0:\"\";s:7:\"\u0000*\u0000isbn\";s:0:\"\";s:8:\"\u0000*\u0000coden\";s:6:\"HTMMD5\";s:8:\"\u0000*\u0000genre\";s:7:\"article\";s:7:\"\u0000*\u0000part\";s:0:\"\";s:9:\"\u0000*\u0000btitle\";s:0:\"\";s:8:\"\u0000*\u0000title\";s:59:\"Charakterisierung von PVD-Schichten am Beispiel Titannitrid\";s:8:\"\u0000*\u0000place\";s:8:\"M\u00fcnchen\";s:6:\"\u0000*\u0000pub\";s:6:\"Hanser\";s:10:\"\u0000*\u0000edition\";s:0:\"\";s:9:\"\u0000*\u0000tpages\";s:0:\"\";s:9:\"\u0000*\u0000series\";s:0:\"\";s:8:\"\u0000*\u0000proxy\";s:30:\"http:\/\/proxyout.inist.fr:8080\/\";s:12:\"\u0000*\u0000integrite\";b:1;}"
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