Modélisation de l'écoulement et du transfert de masse dans un réacteur plasma. Application au dépôt de silicium amorphe
- Other title
- Modelisation of flow and mass transfer in a plasma reactor. Application to amorphous silicium deposition (en)
- Author
- LAYEILLON, L2 ; DESPAX, B1 ; DUVERNEUIL, P; COUDERC, J. P
[1] UPS, LGET, 31062 Toulouse, France
[2] LGC, INPIGC, 31078 Toulouse, France - Conference title
- 8e Colloque international sur les procédés plasma, 10-14 juin 1991, Antibes-Juan-Les-Pins, France
- Conference name
- CIP 91 [Colloque international sur les procédés plasma] (8 ; Antibes-Juan-les-Pins 1991-06-10)
- Author (monograph)
- Société française du vide. comité couches minces, matériaux et technologie pour l'électronique, France (Funder/Sponsor)
- Source
Le Vide, les couches minces. 1991, Vol 47, Num 256, pp 32-34 ; SUP ; ref : 6 ref
- CODEN
- VCMIDS
- ISSN
- 0223-4335
- Scientific domain
- Metallurgy, welding; Physics
- Publisher
- Société française du vide, Paris
- Publication country
- France
- Document type
- Conference Paper
- Language
- French
- Classification
- Pascal
- 001 Exact sciences and technology / 001B Physics / 001B50 Physics of gases, plasmas and electric discharges / 001B50B Physics of plasmas and electric discharges
- Discipline
- Physics of gases, plasmas and electric discharges
- Origin
- Inist-CNRS
- Database
- PASCAL
- INIST identifier
- 5056361
Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS
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