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Production d'un plasma de grande longueur par une structure filaire microonde

Other title
Production of high length plasma by microwave thread structure (en)
Author
ARNAL, Y1 ; PELLETIER, J; POMATHIOD, L2 ; VALLIER, L
[1] CNRS CNET, lab. physique chimie procédés plasma, 38243 Meylan, France
[2] CNRS, lab. physique chimie environnement, 45071 Orléans, France
Conference title
8e Colloque international sur les procédés plasma, 10-14 juin 1991, Antibes-Juan-Les-Pins, France
Conference name
CIP 91 [Colloque international sur les procédés plasma] (8 ; Antibes-Juan-les-Pins 1991-06-10)
Author (monograph)
Société française du vide. comité couches minces, matériaux et technologie pour l'électronique, France (Funder/Sponsor)
Source

Le Vide, les couches minces. 1991, Vol 47, Num 256, pp 235-237 ; SUP ; ref : 4 ref

CODEN
VCMIDS
ISSN
0223-4335
Scientific domain
Metallurgy, welding; Physics
Publisher
Société française du vide, Paris
Publication country
France
Document type
Conference Paper
Language
French
Classification
Pascal
001 Exact sciences and technology / 001B Physics / 001B50 Physics of gases, plasmas and electric discharges / 001B50B Physics of plasmas and electric discharges

Discipline
Physics of gases, plasmas and electric discharges
Origin
Inist-CNRS
Database
PASCAL
INIST identifier
5056411

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