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Profils de concentration d'espèces réactives dans des décharges micro-ondes oxygène/azote; recombinaison hétérogène des atomes d'oxygène

Other title
Concentration profiles of reacting species in oxygen/nitrogen discharges; heterogeneous recombination of oxygen atoms (en)
Author
BUDISAVLJEVIC, J; AL ANDARI, J; DIAMY, A. M; LEGRAND, J. C; BEN-AÏM, R. I
CNRS Univ. Pierre Marie Curie, lab. chimie générale, Jussieu 75252 Paris, France
Conference title
8e Colloque international sur les procédés plasma, 10-14 juin 1991, Antibes-Juan-Les-Pins, France
Conference name
CIP 91 [Colloque international sur les procédés plasma] (8 ; Antibes-Juan-les-Pins 1991-06-10)
Author (monograph)
Société française du vide. comité couches minces, matériaux et technologie pour l'électronique, France (Funder/Sponsor)
Source

Le Vide, les couches minces. 1991, Vol 47, Num 256, pp 280-282 ; SUP ; ref : 3 ref

CODEN
VCMIDS
ISSN
0223-4335
Scientific domain
Metallurgy, welding; Physics
Publisher
Société française du vide, Paris
Publication country
France
Document type
Conference Paper
Language
French
Classification
Pascal
001 Exact sciences and technology / 001B Physics / 001B50 Physics of gases, plasmas and electric discharges / 001B50B Physics of plasmas and electric discharges

Discipline
Physics of gases, plasmas and electric discharges
Origin
Inist-CNRS
Database
PASCAL
INIST identifier
5056426

Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS

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