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Optimisation d'un procédé de gravure isotrope du BPSG

Other title
Optimization of a BPSG isotrop etching process (en)
Author
CLAUDE, R; PECCOUD, L; LASSAGNE, P; PUECH, M; QUINET, M
LETI/CENG, 38041 Grenoble, France
Conference title
8e Colloque international sur les procédés plasma, 10-14 juin 1991, Antibes-Juan-Les-Pins, France
Conference name
CIP 91 [Colloque international sur les procédés plasma] (8 ; Antibes-Juan-les-Pins 1991-06-10)
Author (monograph)
Société française du vide. comité couches minces, matériaux et technologie pour l'électronique, France (Funder/Sponsor)
Source

Le Vide, les couches minces. 1991, Vol 47, Num 256, pp 307-309 ; SUP ; ref : 2 ref

CODEN
VCMIDS
ISSN
0223-4335
Scientific domain
Metallurgy, welding; Physics
Publisher
Société française du vide, Paris
Publication country
France
Document type
Conference Paper
Language
French
Classification
Pascal
001 Exact sciences and technology / 001B Physics / 001B60 Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties / 001B60H Surfaces and interfaces; thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) / 001B60H35 Solid surfaces and solid-solid interfaces / 001B60H35B Surface structure and topography

Discipline
Physics of condensed state : structure, mechanical and thermal properties
Origin
Inist-CNRS
Database
PASCAL
INIST identifier
5056435

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