Etude thermodynamique et expérimentale du dépôt chimique en phase vapeur du phosphure d'indium
- Other title
- Thermodynamic and experimental study of chemical vapor deposition of indium phosphide (en)
- Author
- DEFOORT, Françoise; BERNARD, Claude
Grenoble, I.N.P (Degree-grantor) - Source
Etude thermodynamique et expérimentale du dépôt chimique en phase vapeur du phosphure d'indium. 1986, 165 p, ref : 119 ref
- Thesis number
- 86 INPG 0126
- Scientific domain
- Métall
- Document type
- Thesis (New Ph.D. thesis)
- Language
- French
- Keyword (fr)
- Dépôt chimique phase vapeur Hydrogène Indium Chlorure Mécanisme réaction Phosphine Propriété thermodynamique
- Keyword (en)
- Chemical vapor deposition Hydrogen Indium Chlorides Reaction mechanism Phosphine Thermodynamic properties
- Keyword (es)
- Depósito químico fase vapor Hidrógeno Indio Mecanismo reacción Fosfina Propiedad termodinámica
- Classification
- Pascal
- 001 Exact sciences and technology / 001C Chemistry / 001C02 Inorganic chemistry and origins of life / 001C02A Kinetics and mechanism of reactions
- Discipline
- Mineral chemistry and origin of life
- Origin
- Inist-CNRS
- Database
- PASCAL
- INIST identifier
- 7432082
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