Analyses des surfaces par spectrométrie à décharge luminescente : zone cathodique et rendement de pulvérisation
- Other title
- Surface analysis using glow discharge spectrometry : cathode zone and sputtering efficiency (en)
- Author
- OHANNESSIAN, Laure
Lyon 1 (Degree-grantor) - Source
Analyses des surfaces par spectrométrie à décharge luminescente : zone cathodique et rendement de pulvérisation. 1986, 97 p, ref : 124 ref
- Thesis number
- 86 LYO1
- Scientific domain
- Sci
- Document type
- Thesis (New Ph.D. thesis)
- Language
- French
- Keyword (fr)
- Analyse surface Décharge luminescente Décharge électrique Pulvérisation cathodique Région cathodique Spectrométrie optique Spectrométrie émission
- Keyword (en)
- Surface analysis Glow discharge Electric discharge Cathodic sputtering Cathode region Optical spectrometry Emission spectrometry
- Keyword (es)
- Análisis superficie Descarga luminiscente Descarga eléctrica Pulverización catódica Región catódica Espectrometría óptica Espectrometría emisión
- Classification
- Pascal
- 001 Exact sciences and technology / 001B Physics / 001B50 Physics of gases, plasmas and electric discharges / 001B50B Physics of plasmas and electric discharges / 001B50B80 Electric discharges
- Discipline
- Physics of gases, plasmas and electric discharges
- Origin
- Inist-CNRS
- Database
- PASCAL
- INIST identifier
- 7452987
Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS
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