Contribution à l'étude de la passivation de composants sur arséniure de gallium : caractérisation de films diélectriques réalisés par dépôt en phase vapeur assisté par plasma
- Other title
- Study of the passivation of gallium arsenide devices through the characterization of plasma deposited dielectric films (en)
- Author
- MONTPIED, Sylvie; PARISET, Christian
Clermont-Ferrand 2 (Degree-grantor) - Source
Contribution à l'étude de la passivation de composants sur arséniure de gallium : caractérisation de films diélectriques réalisés par dépôt en phase vapeur assisté par plasma. 1986, 199 p, ref : 101 ref
- Thesis number
- 86 CLF2 1020
- Scientific domain
- Electron
- Document type
- Thesis (New Ph.D. thesis)
- Language
- French
- Keyword (fr)
- Bande interdite Caractéristique dynamique Caractéristique statique Condition opératoire Conductivité électrique Contrôle qualité Couche mince Densité état Dégradation Dépôt chimique phase vapeur Dépôt plasma Effet surface Etat électronique interface Fabrication microélectronique Gallium Arséniure Passivation Performance Piézoélectricité Recuit Silicium Nitrure Silicium Oxyde Tension disruptive Transistor effet champ
- Keyword (en)
- Energy gap Dynamic characteristic Static characteristic Operating conditions Electrical conductivity Quality control Thin film Density of states Degradation Chemical vapor deposition Plasma deposition Surface effect Interface electron state Microelectronic fabrication Gallium Arsenides Passivation Performance Piezoelectricity Annealing Silicon Nitrides Silicon Oxides Disruptive voltage Field effect transistor
- Keyword (es)
- Banda prohibida Característica dinámica Característica estática Condición operatoria Conductividad eléctrica Control calidad Capa fina Densidad estado Degradación Depósito químico fase vapor Depósito plasma Efecto superficie Estado electrónico interfase Fabricación microeléctrica Galio Pasivación Rendimiento Piezoelectricidad Recocido Silicio Silicio Voltaje disruptivo Transistor efecto campo
- Classification
- Pascal
- 001 Exact sciences and technology / 001D Applied sciences / 001D03 Electronics / 001D03F Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices / 001D03F17 Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology)
- Discipline
- Electronics
- Origin
- Inist-CNRS
- Database
- PASCAL
- INIST identifier
- 7476690
Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS
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