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Scratch adhesion test of reactively sputtered TiN coatings on a soft substrat

Autor
JE, J. H1 ; GYARMATI, E; NAOUMIDIS, A
[1] Kernforschungsanlage G.m.b.H., Jülich 5170, Germany
Fuente

Thin solid films. 1986, Vol 136, Num 1, pp 57-67 ; ref : 17 ref

CODEN
THSFAP
ISSN
0040-6090
Campo Científico
Crystallography; Electronics; Metallurgy, welding; Condensed state physics
Editor
Elsevier Science, Lausanne
País de la publicación
Switzerland
Tipo de documento
Article
Idioma
English
Palabra clave (fr)
Adhérence Composé minéral Couche mince Emission acoustique Essai rayage Etude expérimentale Microscopie optique Métal transition Composé Propriété mécanique Pulvérisation réactive Revêtement métallique Titane Nitrure
Palabra clave (in)
Adhesion Inorganic compound Thin film Acoustic emission Scratching test Experimental study Optical microscopy Transition metal Compounds Mechanical properties Reactive sputtering Metal coating Titanium Nitrides
Palabra clave (es)
Adherencia Compuesto mineral Capa delgada Emisión acústica Ensayo al rayado Estudio experimental Microscopia optica Metal transición Propiedad mecanica Pulverización reactiva Revestimiento metálico Titanio
Clasificación
Pascal
001 Exact sciences and technology / 001B Physics / 001B60 Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties / 001B60H Surfaces and interfaces; thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) / 001B60H60 Physical properties of thin films, nonelectronic

Disciplina
Physics of condensed state : structure, mechanical and thermal properties
Procedencia
Inist-CNRS
Base de datos
PASCAL
Identificador INIST
7914085

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