Pascal and Francis Bibliographic Databases

Help

Export

Selection :

Permanent link
http://pascal-francis.inist.fr/vibad/index.php?action=getRecordDetail&idt=813947

Simulation particulaire d'une décharge à cathode magnétron excitée en radio-fréquences

Other title
Particle simulation of RF excited magnetron cathod discharge (en)
Author
MINEA, T. M1 ; BRETAGNE, J1 ; GOUSSET, G1
[1] Laboratoire de Physique des Gaz et Plasmas, (UMR 8578 du CNRS), Université Paris-Sud - Bât. 210, 91405 Orsay, France
Conference title
Nouvelles tendances en procédés magnétron et arc pour le dépôt de couches minces
Conference name
Nouvelles Tendances en Procédés Magnétron et Arc pour le Dépôt de Couches Minces. Colloque (Mons 2000-10-14)
Author (monograph)
TERRAT, J. P (Editor)1 ; HECQ, M (Editor)2
Société Française du Vide, France (Funder/Sponsor)
Belvac (Funder/Sponsor)
Université de Mons-Hainaut ; Laboratoire de Chimie Analytique et Inorganique, Mons, Belgium (Funder/Sponsor)
[1] HEF R&D, Andrézieux-Bouthéon, France
[2] Université de Mons-Hainaut, Mons, Belgium
Source

Le Vide (1995). 2000, Vol 55, Num 297, pp 276-278 ; ref : 4 ref

ISSN
1266-0167
Scientific domain
Chemical engineering; Metallurgy, welding
Publisher
Société française du vide, Paris
Publication country
France
Document type
Conference Paper
Language
French
Keyword (fr)
Diagnostic plasma Décharge électrode Etude théorique Irradiation ion Magnétron Radiofréquence Simulation
Keyword (en)
Plasma diagnostics Electrode discharge Theoretical study Ion irradiation Magnetrons Radiofrequency Simulation
Keyword (es)
Descarga electrodo Irradiación ión Radiofrecuencia
Classification
Pascal
001 Exact sciences and technology / 001B Physics / 001B80 Cross-disciplinary physics: materials science; rheology / 001B80A Materials science / 001B80A15 Methods of deposition of films and coatings; film growth and epitaxy / 001B80A15C Deposition by sputtering

Pacs
8115C Deposition by sputtering

Discipline
Physics and materials science
Origin
Inist-CNRS
Database
PASCAL
INIST identifier
813947

Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS

Searching the Web