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ELECTRICAL CHARACTERISTICS OF POLYCRYSTALLINE SILICON-SILICON NITRIDE-SILICON DIOXYDE-SILICON STRUCTURES

Author
MAEKAWA M
Source
JAP. J. APPL. PHYS.; JAP.; DA. 1972; VOL. 11; NO 9; PP. 1251-1258; BIBL. 29 REF.
Document type
Serial Issue
Language
English
Keyword (fr)
STRUCTURE COMPOSEE STRUCTURE SEMICONDUCTEUR NITRURE OXYDE SEMICONDUCTEUR STRUCTURE SILICIUM NITRURE SILICIUM DIOXYDE SILICIUM SILICIUM POLYCRISTAL CARACTERISTIQUE ELECTRIQUE RECUIT DIFFUSION IMPURETE ETAT SURFACE ETAT RAPIDE CONDUCTIVITE ELECTRIQUE SURFACE SOLIDE NITRURE SILICIUM COUCHE MINCE MATERIAU ELECTROMAGNETISME ELECTRONIQUE
Keyword (en)
ELECTROMAGNETISM ELECTRONICS
Keyword (es)
ELECTROMAGNETISMO ELECTRONICA
Classification
Pascal
001 Exact sciences and technology / 001D Applied sciences / 001D03 Electronics

Discipline
Electronics
Origin
Inist-CNRS
Database
PASCAL
INIST identifier
PASCAL7314505238

Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS

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