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DEFEKTSTIMULIERTES AUSHEILVERHALTEN DER LEITFAEHIGKEIT IN BORIMPLANTIERTEN SILIZIUMSCHICHTEN.

Other title
COMPORTEMENT DE RESTAURATION STIMULE PAR DES DEFAUTS DE LA CONDUCTIVITE DANS DES COUCHES DE SILICIUM IMPLANTEES AVEC DU BORE (fr)
Author
FREY H; MITTENBACHER J
FRIEDRICH-SCHILLER-UNIV., SEKT. PHYS., 69 JENA
Source
EXPER. TECH. PHYS.; DTSCH.; DA. 1975; VOL. 23; NO 3; PP. 275-282; ABS. ANGL.; BIBL. 19 REF.
Document type
Article
Language
German
Keyword (fr)
SILICIUM IMPLANTATION IMPURETE IRRADIATION ION DEFAUT IRRADIATION DISTRIBUTION RECUIT CONDUCTIVITE ELECTRIQUE BASSE TEMPERATURE DOPAGE B CRISTALLOGRAPHIE
Keyword (en)
CRISTALLOGRAPHY
Keyword (es)
CRISTALOGRAFIA
Classification
Pascal
001 Exact sciences and technology / 001B Physics / 001B60 Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties / 001B60A Structure of solids and liquids; crystallography

Discipline
Physics of condensed state : structure, mechanical and thermal properties
Origin
Inist-CNRS
Database
PASCAL
INIST identifier
PASCAL7640030873

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