Pascal and Francis Bibliographic Databases

Help

Export

Selection :

Permanent link
http://pascal-francis.inist.fr/vibad/index.php?action=getRecordDetail&idt=PASCAL7930252106

AL/SI-METALLISIERUNG DURCH SIMULTANBETRIEB ZWEIER GEREGELTER ELEKTROMENSTRAHLVERDAMPFER

Other title
METALLISATION AL/SI PAR EVAPORATION SIMULTANEE AVEC 2 CANONS A ELECTRONS REGULES (fr)
Author
HEGNER F; FEUERSTEIN A
LEYBOLD-HERAEUS GMBH, KOELN, DEU
Source
VAKUUM-TECH.; DEU; DA. 1979; VOL. 28; NO 1; PP. 3-11; ABS. ENG/FRE; BIBL. 16 REF.
Document type
Article
Language
German
Keyword (fr)
FABRICATION MICROELECTRONIQUE METALLISATION DEPOT SOUS VIDE METHODE PHASE VAPEUR ALUMINIUM SILICIUM FAISCEAU ELECTRON CIRCUIT MOS COUCHE MINCE PREPARATION ELECTRONIQUE
Keyword (en)
MICROELECTRONIC FABRICATION METALLIZING VACUUM DEPOSITION GROWTH FROM VAPOR ALUMINUM SILICON MOS CIRCUIT THIN FILM PREPARATION ELECTRONICS
Keyword (es)
ELECTRONICA
Classification
Pascal
001 Exact sciences and technology / 001D Applied sciences / 001D03 Electronics

Discipline
Electronics
Origin
Inist-CNRS
Database
PASCAL
INIST identifier
PASCAL7930252106

Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS

Searching the Web