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LITHOGRAFIETECHNIKEN FUER HOECHST-INTEGRIERTE SCHALTUNGEN

Other title
TECHNIQUES LITHOGRAPHIQUES POUR CIRCUITS FORTEMENT INTEGRES (fr)
Author
SCHAUMBURG H
PHILIPS GMBH,HAMBURG 2000,DEU
Source
MESSEN U. PRUEFEN; DEU; DA. 1979; NO 10; PP. 767-771; (3 P.)
Document type
Article
Language
German
Keyword (fr)
CIRCUIT INTEGRE CIRCUIT LSI LITHOGRAPHIE FABRICATION MICROELECTRONIQUE LITHOGRAPHIE FAISCEAU ELECTRON LITHOGRAPHIE RX PHOTOLITHOGRAPHIE ELECTRONIQUE
Keyword (en)
INTEGRATED CIRCUIT LSI CIRCUIT LITHOGRAPHY MICROELECTRONIC FABRICATION ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY X RAY LITHOGRAPHY PHOTOLITHOGRAPHY ELECTRONICS
Keyword (es)
ELECTRONICA
Classification
Pascal
001 Exact sciences and technology / 001D Applied sciences / 001D03 Electronics

Discipline
Electronics
Origin
Inist-CNRS
Database
PASCAL
INIST identifier
PASCAL8030300516

Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS

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