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UNTERSUCHUNGEN ZUM EINFLUSS DER PLASMAPARAMETER AUF DIE LOESLICHKEIT VON GLIMMPOLYMERSCHICHTEN AUS HEXAMETHYLDISILOXAN (HMDS)

Other title
ETUDE DE L'INFLUENCE DES PARAMETRES DU PLASMA SUR LA SOLUBILITE DE COUCHES POLYMERES DE HAXAMETHYLDISILOXANE (HMDS) DANS UNE DECHARGE LUMINESCENTE (fr)
Author
SCHMIDT M; MAASS M; MOELLER W
AKAD. WISS. DDR, ZENTRALINST. ELEKTRONENPHYS.,GREIFSWALD,DDR
Source
BEITR. PLASMAPHYS.; DDR; DA. 1979; VOL. 19; NO 3; PP. 189-198; BIBL. 14 REF.
Document type
Article
Language
German
Keyword (fr)
DECHARGE ELECTRIQUE DECHARGE LUMINESCENTE ARGON POLYMERE SOLUBILITE COUCHE MINCE ETUDE EXPERIMENTALE CHIMIE APPLICATION PLASMA PHYSIQUE DES PLASMAS
Keyword (en)
ELECTRIC DISCHARGE GLOW DISCHARGE ARGON POLYMER SOLUBILITY THIN FILM EXPERIMENTAL STUDY CHEMISTRY PLASMA APPLICATION PLASMA PHYSICS
Keyword (es)
FISICA DE LAS PLASMAS
Classification
Pascal
001 Exact sciences and technology / 001B Physics / 001B30 Atomic and molecular physics

Discipline
Atomic and molecular physics
Origin
Inist-CNRS
Database
PASCAL
INIST identifier
PASCAL8030460675

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