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UNTERSUCHUNGEN ZUR ATOMSPEKTROSKOPISCHEN SPWIENANALYSE IN AIII BV HALBLEITERMIKROPROBEN. VI. UNTERSUCHUNGEN ZUR SCHICHTABTRENNUNG, PROFIL- UND SPURENANALYSE AN INSB-MATERIALIEN

Other title
ETUDE SUR L'ANALYSE DE TRACES PAR ABSORPTION ATOMIQUE DANS DES SEMICONDUCTEURS AIII BV. VI. ETUDE SUR LA SEPARATION DES COUCHES, L'ANALYSE DES PROFILS ET DES TRACES DANS INSB (fr)
Author
SCHELPAKOWA IR; SCHTSCHERBAKOWA OI; JUDELEWITSCH IG; BEISEL NF; DITTRICH K; MOTHES W
INST. ANORGANISCHE CHEM. SIBIRISCHEN ABTEILUNG AKAD. WISSENSCHAFTEN UDSSR/NOVOSIBIRSK/SUN
Source
TALANTA (OXF.); ISSN 0039-9140; GBR; DA. 1982; VOL. 29; NO 7; PP. 577-581; BIBL. 29 REF.
Document type
Article
Language
German
Keyword (fr)
DOSAGE ELEMENT TRACE SEMICONDUCTEUR COUCHE MINCE DISTRIBUTION CONCENTRATION SPECTROMETRIE ABSORPTION ATOMIQUE SPECTROMETRIE EMISSION ATOMISATION SANS FLAMME IMPURETE ELLIPSOMETRIE EPAISSEUR MAGNESIUM!ANA TELLURE!ANA INDIUM ANTIMONIURE!SUB CHIMIE ANALYTIQUE
Keyword (en)
ANALYTICAL DETERMINATION TRACE ELEMENTS SEMICONDUCTOR MATERIALS THIN FILM CONCENTRATION DISTRIBUTION ATOMIC ABSORPTION SPECTROMETRY EMISSION SPECTROMETRY FLAMELESS ATOMIZATION IMPURITY ELLIPSOMETRY THICKNESS MAGNESIUM!ANA TELLURIUM!ANA INDIUM ANTIMONIDES!SUB ANALYTICAL CHEMISTRY
Keyword (es)
QUIMICA ANALYTICA
Classification
Pascal
001 Exact sciences and technology / 001C Chemistry / 001C04 Analytical chemistry

Discipline
Analytical chemistry
Origin
Inist-CNRS
Database
PASCAL
INIST identifier
PASCAL82X0242439

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