UNTERSUCHUNGEN ZUR ATOMSPEKTROSKOPISCHEN SPWIENANALYSE IN AIII BV HALBLEITERMIKROPROBEN. VI. UNTERSUCHUNGEN ZUR SCHICHTABTRENNUNG, PROFIL- UND SPURENANALYSE AN INSB-MATERIALIEN
- Other title
- ETUDE SUR L'ANALYSE DE TRACES PAR ABSORPTION ATOMIQUE DANS DES SEMICONDUCTEURS AIII BV. VI. ETUDE SUR LA SEPARATION DES COUCHES, L'ANALYSE DES PROFILS ET DES TRACES DANS INSB (fr)
- Author
- SCHELPAKOWA IR; SCHTSCHERBAKOWA OI; JUDELEWITSCH IG; BEISEL NF; DITTRICH K; MOTHES W
INST. ANORGANISCHE CHEM. SIBIRISCHEN ABTEILUNG AKAD. WISSENSCHAFTEN UDSSR/NOVOSIBIRSK/SUN - Source
- TALANTA (OXF.); ISSN 0039-9140; GBR; DA. 1982; VOL. 29; NO 7; PP. 577-581; BIBL. 29 REF.
- Document type
- Article
- Language
- German
- Keyword (fr)
- DOSAGE ELEMENT TRACE SEMICONDUCTEUR COUCHE MINCE DISTRIBUTION CONCENTRATION SPECTROMETRIE ABSORPTION ATOMIQUE SPECTROMETRIE EMISSION ATOMISATION SANS FLAMME IMPURETE ELLIPSOMETRIE EPAISSEUR MAGNESIUM!ANA TELLURE!ANA INDIUM ANTIMONIURE!SUB CHIMIE ANALYTIQUE
- Keyword (en)
- ANALYTICAL DETERMINATION TRACE ELEMENTS SEMICONDUCTOR MATERIALS THIN FILM CONCENTRATION DISTRIBUTION ATOMIC ABSORPTION SPECTROMETRY EMISSION SPECTROMETRY FLAMELESS ATOMIZATION IMPURITY ELLIPSOMETRY THICKNESS MAGNESIUM!ANA TELLURIUM!ANA INDIUM ANTIMONIDES!SUB ANALYTICAL CHEMISTRY
- Keyword (es)
- QUIMICA ANALYTICA
- Classification
- Discipline
- Analytical chemistry
- Origin
- Inist-CNRS
- Database
- PASCAL
- INIST identifier
- PASCAL82X0242439
Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS
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