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CARACTERISATION ELECTRIQUE DE COUCHES ENFOUIES DE SIC OBTENUES PAR L'IMPLANTATION D'IONS CARBONE DANS LE SILICIUM MONOCRISTALLIN

Author
MOUHOUB A; ROGER JA; DURUPT P; PIVOT J
UNIV. CLAUDE BERNARD, DEP. PHYS. MATERIAUX/LYON/FRA
Source
THIN SOLID FILMS; ISSN 0040-6090; CHE; DA. 1982; VOL. 88; NO 2; PP. 101-112; ABS. ENG; BIBL. 10 REF.
Document type
Article
Language
French
Keyword (fr)
CONDUCTIVITE ELECTRIQUE IMPLANTATION ION SILICIUM CARBURE ION CARBONE PHYSIQUE SOLIDE
Keyword (en)
ELECTRICAL CONDUCTIVITY ION IMPLANTATION SOLID PHYSICS
Keyword (es)
FISICA DEL ESTADO CONDENSADO
Classification
Pascal
001 Exact sciences and technology / 001B Physics / 001B60 Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties

Discipline
Physics of condensed state : structure, mechanical and thermal properties
Origin
Inist-CNRS
Database
PASCAL
INIST identifier
PASCAL83X0267782

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