CALCUL EXACT DE LA FONCTION DE DISTRIBUTION DES IONS INCIDENTS SUR UNE CIBLE DANS LE CAS D'UN PLASMA DE PULVERISATION
- Other title
- EXACT ENERGY DISTRIBUTION COMPUTATION OF PARTICLES STRIKING THE TARGET IN SPUTTERING (en)
- Author
- CHOUAN Y; COLLOBERT D
CENT. NATIONAL ETUDES TELECOMMUN./LANNION 22301/FRA - Source
- JOURNAL DE PHYSIQUE; ISSN 0302-0738; FRA; DA. 1982; VOL. 43; NO 2; PP. 279-283; ABS. ENG; BIBL. 12 REF.
- Document type
- Article
- Language
- French
- Keyword (fr)
- DECHARGE ELECTRIQUE PULVERISATION INTERACTION SOLIDE PLASMA GAINE IONIQUE DISTRIBUTION ENERGIE CALCUL NUMERIQUE IRRADIATION ION ARGON ION METAL TRANSITION TANTALE METAL PUR TA PULVERISATION SOUS IRRADIATION PHYSIQUE DES PLASMAS PHYSIQUE SOLIDE METALLURGIE
- Keyword (en)
- ELECTRIC DISCHARGE SPRAYING SURFACE PLASMA INTERACTION ION SHEATH ENERGY DISTRIBUTION NUMERICAL CALCULATION IRRADIATION IONS ARGON IONS TRANSITION METAL ARGON ION PLASMA PHYSICS SOLID PHYSICS METALLURGY
- Keyword (es)
- FISICA DE LAS PLASMAS FISICA DEL ESTADO CONDENSADO METALURGIA
- Classification
- Pascal
- 001 Exact sciences and technology / 001B Physics / 001B60 Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties
- Discipline
- Atomic and molecular physics Metals. Metallurgy Physics of condensed state : structure, mechanical and thermal properties
- Origin
- Inist-CNRS
- Database
- PASCAL
- INIST identifier
- PASCAL83X0338433
Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS
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