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ETUDE DE L'INFLUENCE DE LA COHERENCE PARTIELLE ET DE L'APODISATION D'ECLAIREMENT SUR LA PROJECTION DIRECTE SUR SILICIUM DE STRUCTURES BINAIRES PERIODIQUES OU ISOLEESMASSIN JEAN.1979; ; FRA; DA. 1979; DGRST/78 7 2100; 129 P.; 30 CM; ACTION CONCERTEE: COMPOSANTS ET CIRCUITS MICROMINIATURISESReport

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