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Vers des systèmes d'entraînement planaires dans le domaine de la lithographie : Nouvelles applications des moteurs linéaires = Towards Planar Drives for LithographyCOMPTER, John.REE. Revue de l'électricité et de l'électronique. 2009, Num 2, issn 1265-6534, 63, 80-84 [6 p.]Article

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