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IN SITU ANALYSIS OF FLUORINATED GASES IN PLASMA ETCHING BY INFRARED SPECTROSCOPYPOLL HU; HINZE D; SCHLEMM H et al.1982; APPL. SPECTROSC.; ISSN 0003-7028; USA; DA. 1982; VOL. 36; NO 4; PP. 445-451; BIBL. 16 REF.Article
PLASMAMODIFIZIERUNG VON POLYMEROBERFLAECHEN. II: ENTSTEHUNG FREIER RADIKALE DURCH EINWIRKUNG EINER GLIMMENTLADUNG = MODIFICATION DE LA SURFACE DES POLYMERES PAR PLASMA. II. RADICAUX LIBRES FORMES PAR DECHARGE ELECTRIQUEPOLL HU; KLEEMANN R; MEICHSNER J et al.1981; ACTA POLYM.; ISSN 0323-7648; DDR; DA. 1981; VOL. 32; NO 3; PP. 139-143; ABS. RUS/ENG; BIBL. 10 REF.Article