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TRAITEMENT PAR EFFET CORONA. CONSIDERATIONS TECHNIQUES SUR L'EQUIPEMENT.TUFFIN G.1977; PLAST. MOD. ELASTOMERES; FR.; DA. 1977; VOL. 29; NO 4; PP. 54-56Article

Réalisation d'équipements de gravure et pulvérisation avec des changements de procédés entièrement automatisés grâce à la nouvelle ligne de générateurs de RF plasma products = Realization of etching and sputtering equipments with entirely automatized process changes owing to new class of generators of RF PLASMA PRODUCTSTUFFIN, G.Le Vide, les couches minces. 1991, Vol 47, Num 256, pp 395-397, issn 0223-4335, SUPConference Paper

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