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001D03F21 Dispositifs micro- et nanoélectromécaniques (MEMS/NEMS).
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001
Sciences exactes et technologie.
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001D
Sciences appliquées.
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001D03
Electronique. (voir aussi 001D06D03, 001D06C02)
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001D03F
Electronique des semiconducteurs. Microélectronique. Optoélectronique. Dispositifs à l'état solide.
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001D03F21
Dispositifs micro- et nanoélectromécaniques (MEMS/NEMS).
Intitulés
- fr : Dispositifs micro- et nanoélectromécaniques (MEMS/NEMS).
- en : Micro- and nanoelectromechanical devices (MEMS/NEMS).
Notation SKOS
001D03F21
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