Bases bibliographiques Pascal et Francis

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Ab initio modeling of structure and defects at the HfO2/Si interface

Auteur
GAVARTIN, J. L1 ; FONSECA, L2 ; BERSUKER, G3 ; SHIUGER, A. L1
[1] Department of Physics and Astronomy, University College London, Gower Street, WCIE 6BP, London, United Kingdom
[2] Freescale Semiconductors Brasil, United States
[3] SEMATECH, Austin, Texas, United States
Titre de la conférence
Infos 2005: Proceedings of the 14th Biennal Conference on Insulating Films on Semiconductors, June 22-24, 2005, Leuven, Belgium
Nom de la conférence
INFOS 2005 Biennal Conference on Insulating Films on Semiconductors (14 ; Leuven 2005-06-22)
Auteur (monographie)
GROESENEKEN, Guido (Editor)1 ; KACZER, Ben (Editor)1
IMEC, Leuven, Belgium (Organiser of meeting)
[1] IMEC, Leuven, Belgium
Source

Microelectronic engineering. 2005, Vol 80, pp 412-415, 4 p ; ref : 9 ref

CODEN
MIENEF
ISSN
0167-9317
Domaine scientifique
Electronics
Editeur
Elsevier Science, Amsterdam
Pays de publication
Netherlands
Type de document
Conference Paper
Langue
English
Mot clé auteur
HfO2 Si SiO2 ab initio modelling interface
Mot clé (fr)
Calcul ab initio Couche interfaciale Croissance film Etat défaut Etat interface Hafnium oxyde Lacune Modélisation Méthode couche atomique Piège trou Silicium Structure interface Hf O HfO2 Si
Mot clé (en)
Ab initio calculations Interfacial layer Film growth Defect states Interface state Hafnium oxide Vacancy Modeling Atomic layer method Hole traps Silicon Interface structure
Mot clé (es)
Capa interfacial Estado interfase Hafnio óxido Cavidad Modelización Método capa atómica Silicio Estructura interfaz
Classification
Pascal
001 Sciences exactes et technologie / 001D Sciences appliquees / 001D03 Electronique / 001D03F Electronique des semiconducteurs. Microélectronique. Optoélectronique. Dispositifs à l'état solide / 001D03F01 Interfaces

Discipline
Electronics
Provenance
Inist-CNRS
Base de données
PASCAL
Identifiant INIST
16891714

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