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3C-SiC nanocrystal growth on 10° miscut Si(001) surface

Auteur
DEOKAR, Geetanjali1 ; D'ANGELO, Marie1 ; DEMAILLE, Dominique1 ; CAVELLIN, Catherine Deville1 2
[1] INSP, UPMC, CNRS UMR 7588, 4 place Jussieu, Paris 75005, France
[2] Faculté des Sciences et Technologie UPEC, 61 av. De Gaulle, Créteil 94010, France
Source

Thin solid films. 2014, Vol 556, pp 195-199, 5 p ; ref : 28 ref

CODEN
THSFAP
ISSN
0040-6090
Domaine scientifique
Crystallography; Metallurgy, welding; Condensed state physics
Editeur
Elsevier, Amsterdam
Pays de publication
Netherlands
Type de document
Article
Langue
English
Mot clé auteur
Beta-silicon-carbide Epitaxial growth High resolution transmission electron microscopy Nanocrystals Vicinal Silicon
Mot clé (fr)
Carbure de silicium Composé III-V Couche épitaxique Croissance film Dispositif optoélectronique Dépendance temps Epitaxie Germe cristallin Hétéroépitaxie Interface Microscopie électronique transmission Mécanisme croissance Nanocristal Nanomatériau Recuit Relaxation Semiconducteur III-V Silicium Surface vicinale Synthèse nanomatériau Traitement thermique 6855A 6855J 8107 8116 GaN Substrat SiC Substrat silicium
Mot clé (en)
Silicon carbide III-V compound Epitaxial layers Film growth Optoelectronic devices Time dependence Epitaxy Crystal seeds Heteroepitaxy Interfaces Transmission electron microscopy Growth mechanism Nanocrystal Nanostructured materials Annealing Relaxation III-V semiconductors Silicon Vicinal surface Nanomaterial synthesis Heat treatments
Mot clé (es)
Silicio carburo Compuesto III-V Heteroepitaxia Mecanismo crecimiento Nanocristal Síntesis nanomaterial
Classification
Pascal
001 Sciences exactes et technologie / 001B Physique / 001B60 Etat condense: structure, proprietes mecaniques et thermiques / 001B60H Surfaces et interfaces; couches minces et trichites (structure et propriétés non électroniques) / 001B60H55 Structure et morphologie de couches minces / 001B60H55J Structure et morphologie; épaisseur

Pascal
001 Sciences exactes et technologie / 001B Physique / 001B80 Domaines interdisciplinaires: science des materiaux; rheologie / 001B80A Science des matériaux / 001B80A07 Nanomatériaux et nanostructures : fabrication et caractèrisation / 001B80A07Z Divers

Pascal
001 Sciences exactes et technologie / 001B Physique / 001B80 Domaines interdisciplinaires: science des materiaux; rheologie / 001B80A Science des matériaux / 001B80A15 Méthodes de dépôt de films et de revêtements; croissance de films et épitaxie / 001B80A15A Théorie et modèles de la croissance de films

Pascal
001 Sciences exactes et technologie / 001B Physique / 001B80 Domaines interdisciplinaires: science des materiaux; rheologie / 001B80A Science des matériaux / 001B80A16 Méthodes de nanofabrication

Discipline
Physics and materials science Physics of condensed state : structure, mechanical and thermal properties
Provenance
Inist-CNRS
Base de données
PASCAL
Identifiant INIST
28331832

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